1. Puritate
Puritatea țintei de pulverizare ar trebui să fie de cel puțin 99,95 la sută. Cu cât puritatea este mai mare, cu atât performanța filmului pulverizat este mai bună.
2. Densitatea
Densitatea relativă a țintei de pulverizare ar trebui să fie mai mare de 98 la sută. Ținta cu densitate mai mare poate reduce stropirea particulelor de film în timpul procesului de acoperire, îmbunătățind astfel calitatea filmului.
3. Structura boabelor
Molibden ținta de pulverizare este o structură policristalină. În timpul pulverizării, atomii țintă sunt ușor pulverizați în direcția cea mai apropiată a atomilor hexagonali. Pentru a obține rata maximă de pulverizare, este necesar să creșteți viteza de pulverizare prin modificarea structurii cristaline a țintei.
4. Dimensiunea boabelor
Dimensiunea granulelor poate varia de la microni la milimetri. Rata de pulverizare a țintei cu granulație fină este mai rapidă decât cea a țintei cu granulație grosieră, iar distribuția grosimii filmului depus este, de asemenea, relativ uniformă pentru țintă cu o diferență mică de dimensiune a granulelor.
5. Legarea țintei și a șasiului
Înainte de pulverizare, ținta trebuie conectată la șasiul de cupru fără oxigen pentru a se asigura că conductivitatea termică dintre țintă și șasiu este bună. După legare, inspecția cu ultrasunete va fi efectuată pentru a se asigura că suprafața neobligatorie a celor două este mai mică de 2 la sută, astfel încât să îndeplinească cerințele pulverizării de mare putere.
