Țintă de pulverizare cu titanlivrare către client pe 13 decembrie
Nume produs țintă rotundă din titan
Gradul Gr1 Gr2 Gr3 Gr5 (Ti6al4v)
Țintă standard de titan: condiții tehnice: respectă ASTM B34897
Țintă plăci de titan: condiții tehnice: conform ASTM B265-93
Specificație: specificație comună: 60/65/95/100 * 30/32/40/45mm
Ținta plăcii: (8-25mm * (150-300) mm * (1000-2500) mm
Tinta tub: 70mm * 7mm/10mm
Lustruirea suprafeței poate fi filetată
Caracteristici: Ușor, rezistență excelentă la coroziune, rezistență la coroziune, rezistență ridicată, rezistență bună la căldură, ductilitate bună, non-toxică, nemagnetică, rezistență mecanică excelentă etc.
Stare Starea de recoacere (M) Stare de lucru la cald (R) Stare de lucru la rece (Y) (recoacere, detectarea defectelor cu ultrasunete)
Aplicații: Folosit în dispozitive de separare a semiconductoarelor, afișaje cu ecran plat, filme cu electrozi de depozitare, acoperiri prin pulverizare, acoperiri ale suprafeței piesei de prelucrat, industria acoperirii cu sticlă
Puritatea este unul dintre principalii indicatori de performanță ai țintelor de titan, deoarece puritatea țintei are un impact mare asupra performanței filmului. Cu toate acestea, în aplicațiile practice, cerințele pentru puritatea țintei sunt, de asemenea, diferite. Cipurile de siliciu variază acum în dimensiune de la 6 inci la 8 inchi la 12 inci, iar lățimea cablurilor s-a micșorat de la 0,5 um la 0,25 um, 0,18 um sau chiar și 0.13 um, datorită progresului rapid al industriei microelectronice. Anterior, 99,995 la sută din puritatea țintă poate îndeplini cerințele procesului de 0.35 um IC, în timp ce 99,999 la sută sau chiar 99,9999 la sută din puritatea țintă este necesară pentru prepararea liniilor 0.18 um .
Sursele primare de poluare pentru peliculele depuse sunt impuritățile din solidul țintă și oxigenul și vaporii de apă din pori. Materialele țintă diferite au cerințe diferite pentru conținut diferit de impurități. De exemplu, țintele din aluminiu pur și aliaje de aluminiu utilizate în industria semiconductoarelor au cerințe speciale pentru conținutul de metale alcaline și conținutul de elemente radioactive.
În mod obișnuit, ținta este necesară să aibă o densitate mare pentru a scădea porozitatea solidului țintă și pentru a îmbunătăți performanța filmului pulverizat. Caracteristicile electrice și optice ale filmului sunt, de asemenea, afectate de densitatea țintă, în plus față de rata de pulverizare. Filmul funcționează mai bine cu cât densitatea țintei este mai mare. În plus, ținta poate supraviețui mai bine stresului termic în timpul procesului de pulverizare, devenind mai densă și mai puternică. Densitatea este, de asemenea, unul dintre indicatorii cheie de performanță ai țintei.
